产品应用
真空 镀膜 太阳能 半导体 石油石化
煤炭冶金 制气配气 环保 各种分析仪器
技术参数
技术指标: Amass质量流量控制器Amass质量流量计
量程范围: 10SCCM-200SLM
测控范围: 控制器阀控范围50:1 流量计量程比100:1
准 确 度: 流量：±1%F.S
重复精度: ±0.2%F.S
响应时间: ≤2S
模 拟 量: 0～5V
供 电: ±15V
工作温度: 0～50℃
工作压力: 工作压差：0.03～0.5MPa 工作压降：<0.01Mpa
最大耐压: 6MPa
电气连接: DB15孔
漏 率: 1×10-9SCCSHe
温度系数: ±0.015%F.S/℃
底座材质: 铝合金或316L不锈钢
密封材料: 氟橡胶,氯丁橡胶，丁晴橡胶
接 头: VCR1/4;swagelokφ6 以及客户指定
